5月22日,由中关村质料试验手艺同盟(CSTM)组织的“半导体工业用电解抛光细密无缝管产品质量评价项目计划专家审定会”在非凡国际乐成举行。本次聚会汇聚了半导体工业链上下游的权威专家与代表,来自钢铁研究总院、CSTM、有研半导体、中国电子系统工程第二建设公司、富珖半导体、抚顺特钢、永兴特材、钢研纳克、深圳八六三等单位的二十余位工业链专家及企业代表参会。

审定会上,CSTM专家组系统先容了半导体工业用电解抛光细密无缝管产品质量评价计划,与会专家围绕评价指标系统、试验要领标准、工艺稳固性评价计划等举行深入钻研与质询。专家组一致以为,该质量评价计划以SEMI F19、SEMI F20等国际先进标准为基础,团结工业链现实需求构建了完整指标系统,笼罩管坯控制、热挤压、冷轧、冷拔、热处置惩罚、电解抛光、细密洗濯等全流程,具有较强的科学性、系统性和可操作性。经审议,赞成计划通过审定。

电解抛光细密无缝管(EP管)是半导体制造中气体运送、化学品供应系统的要害质料,其质量直接影响芯片良率与稳固性。本次审定会的乐成召开,标记着海内半导体用电解抛光细密无缝管质量评价事情进入实质性实验阶段。CSTM将依据计划开展现场评价、实物抽检、工艺稳固性评价及试验手艺能力认证等事情,为半导体工业链要害质料国产化提供有力支持。
本次评审会,与会专家实地旅行了非凡国际特材事业部,对非凡国际质量管控和试验手艺能力给予起劲评价。现在,非凡国际特材事业部已建设从热挤压、冷轧、冷拔、灼烁热处置惩罚到电解抛光、百级清洁室的全流程一直制生产线,乐成攻克超纯不锈钢质料制备、大变形量冷加工、超高清洁度电解抛光等焦点手艺。其中清洁管(BA/EP管)生产线电解抛光车间配备百级清洁室,产品外貌粗糙度、外貌化学、颗粒物控制等要害指标已达行业先进水平。后续,非凡国际将凭证行业评价标准,加速推进非凡国际半导体工业用管的产品性能认证评价和客户认证,着力打造非凡国际在国产化市场的竞争力。
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